■ 주요기능

- 시료로부터 발산되는 2차(형광) x선을 검출하여 물질의 정성, 정량 분석을 하는 장비로 정량 미 정성분석을 비파괴적으로 신속하게 분석

- 미소부위 Mapping 기능

- 시료 이동 분석 및 관찰

■ 주요구성 및 성능 

- X-선 발생장치 : 사용전압-60㎸, 사용전류-150㎃, 사용전류-4㎾

- 분광기 : 방사형태-상면조사, 분석원소 범위-4Be부터 92U, 시료 터렛-12, 분위기-진공, Air, Helium

- Detector : SC-22Ti~92U, F-PC 4Be~30Zn

- Mapping System

- Goniometer