■ 주요기능

- 광학현미경의 광선 대신에 전자빔, 광학렌즈 대신에 전자렌즈를 사용하여 형광면 위에 물체의 확대상을 결상시켜 관찰하는 현미경

■ 구성 및 성능 

- Resolution : 1.5㎚ at 15㎸, 0.5㎚ at 5㎸

- Magnification : ×20 ~ ×500,000

- Accelerating Voltage : 0.5 ~ 30㎸

- Electron Source : Cold Type FE Tip

- BSE 검출기(YAG Type)

- EDS System : Horibar(Oxford system)

■ 원리

- 전계방사형 주사전자현미경은 일반 주사전자현미경과 달리 전자총이 열전자총이 아닌 전계방사형이기 때문에 W-hair pin type이나 LaB6보다 휘도가 높다. 따라서 일반전자현미경에서 구현하기 힘든 저가속전압에서 고배율 관찰이 가능한 장점이 있다. 그리고 저전압으로 관찰이 가능하기 때문에 시료의 radiation damage가 적은 것이 장점이다. 그리고 분해능과 집점심도가 매우 우수하여 재료, 생물, 광물, 고분자, 의학, 목재분야 등 다양한 분야게 적용이 가능하다.

■ 활용분야

① 금속 재료분야

금속 및 세라믹스의 피단면 관찰

반도체에서 기판위에 증착시킨 증착층의 두께 관찰

시료내의 불순물의 위치, powder의 형태와 크기 관찰

세라믹 소결상태 관찰 및 금속의 부식상태 관찰

반도체 표면의 증착상태와 Grain의 크기관찰

② 화학공업분야

고분자의 형태와 크기, 표면형상 관찰

③ 생물 의학분야

저전압으로 시편에 영향을 주지 않고 조직의 형태 관찰

각종 바이러스의 외부형태관찰

④ 지질분야

암석내부의 미세상들의 형태관찰

BSE(후방산란전자)를 이용한 compo 사진촬영

BSE(후방산란전자)를 이용한 topo 사진촬영